다층 광학 코팅 머신의 기술 매개 변수 목록

모델

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

코팅 룸 크기

1050 * 1250304 스테인리스 스틸.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

코팅 된 공동 크기

1680mm지면의 고정물 지원, 인간 공학 운영에 적합합니다.

1468mm지면의 고정물 지원, 인간 공학 운영에 적합합니다.

인간 공학 운영에 적합한 지상 1510mm의 고정물 지원.

1 아치 유형 단일 공작물, 균일성에 대한 고객의 요구를 충족시키기 위해 더 많이. 회전 5-30R/분, 스티플 속도 변화.

2 아치 타입 3 공작물 판, 지구의 회전, 생산에 대한 고객의 요구를 충족시키기 위해 더 많이. 회전 5-30R/분, 스티플 속도 변화.

툴링 고정물

네 조각의 경우 브래킷 각도는 고객 요구 균일 성을 충족시키기 위해 더 많이 조정할 수 있습니다. 회전 5-30R/분, 스티플 속도 변화.

균일성에 대한 고객의 요구를 충족시키기 위해 아치형 단일 공작물. 회전 5-30R/분, 스티플 속도 변화.

균일성에 대한 고객의 요구를 충족시키기 위해 아치형 단일 공작물. 회전 5-30R/분, 스티플 속도 변화.

진공 시스템

단위 : 확산 펌프 DIP-12000 (LAI BAO), ZJY-300 2X-70 루츠 펌프, 기계식 펌프, 펌프 유지 보수 2x-8. 304 스테인레스 스틸의 파이프.

단위 : 확산 펌프 KT-400 (Zhen Hua), ZJY-150 2x-70 루츠 펌프, 기계식 펌프, 펌프 유지 보수 2x-8.

단위 : 확산 펌프 KT-600 (Zhen Hua), ZJY-600 2x-70 루츠 펌프, 기계식 펌프, 펌프 유지 보수 2x-8.

단위 : 확산 펌프 KT-800 (Zhen Hua), ZJY-600 2x-70 루츠 펌프, 기계식 펌프, 펌프 유지 보수 2x-8.

궁극적 인 진공 : 4 x pa 10-4보다 낫습니다.

난기류 방지 장비, 안전 인터록 설계, 매뉴얼, 자동 선택 사항 구성.

난방 시스템

난방 모드의 가열 파이프, PID 제어, 최고 350 C + 1.5.

가스 인플레이션

가스 질량 흐름 제어 기기 또는 수동 미세 조정 충전 밸브.

진공 이온화 폭격

DC 3KV, 06kW로드 캐소드 (공작물의 자체 청소 전 코팅 용).

증발 소스 (선택 사항)

1 Telemark-270 전자 건 (수입), 6kW, 고압 4kv-10kv 조절 가능. 스캐닝, 스캐닝, 원형 스캐닝 및 나선형 스캐닝. 빔 스팟의 초점은 양호하고 위치 정확도가 높고 재현성이 좋습니다.

2 국내 전자 총 (Zhen Hua) : 6kW, 고압 4kV ~ 8kV 조정 가능, 삼각형 파, 사인파, 제곱파 스캐닝을 자유롭게 선택할 수 있습니다.

3 : 6 홀 Crucible Phi 38 * 20 또는 4 홀 Colecible Phi 38 * 20 + 87 포인트 중심 아크 아크 도가니 (대량의 낮은 융점 증발 재료의 경우) 또는 48 x 18 도가니가있는 4 점.

이온 소스 (선택 사항)

1 RF (무선 주파수) 이온 소스 (가져 오기).

2 5kva Holzer Ion Source (Zhen Huachan)는 도금을 돕기 위해 세척 또는 도금 공정 전에 전기 도금에 사용되는 필름 굴절률, 견고성, 필름 밀도, 접착력 향상에 도움이됩니다.

필름 두께 제어 시스템 (선택)

1.MDC-360 Crystal Control Device (수입)는 1 ~ 99 층 자동 코팅 공정, 99 종류의 프로그램 데이터, 정밀도 0.5%+1 고정 오차를 저장할 수 있습니다. 2TELEMARK-880 Crystal Control Device (수입) : 자동 코팅 공정의 1 ~ 99 층, 99 종류의 프로그램 데이터를 저장할 수 있습니다. 정밀도 0.5%+1 고정 오류.

3. Telemark-820 Photocontroller (가져 오기) : 필름의 끝을 결정하기 위해 370-870 mm (또는 반사) 곡선 분석을 모니터링하는 다중 파장 분석 기술을 사용한 전체 스펙트럼 종료. 제어 정밀도가 높고 단일 파장 제어, 자동 제어 및 수동 제어를 사용할 수 있습니다. 추가적인 macileod 멤브레인 시스템 계산 소프트웨어, 높은 수준의 통합.

4. Telemark-880 컨트롤러가 장착 된 Telemark-820 라이트 컨트롤러는 높은 정확도와 높은 반복성 요구 사항으로 Crystal Film을 충족 할 수 있습니다. 호스트 컴퓨터를 사용하면 자동 제어를 실현할 수 있습니다.

5 국내 광 전환기 (예 : 유형 9704와 같은 모노 크로이터 파장 330 ~ 870 등) 조절 가능, 정밀도는 1.5nm에 도달 할 수 있습니다.

손으로 작동하는 장치

자기 염기를 사용하면 진공 챔버 도어 및 제어 캐비닛 임의 위치에 배치 할 수 있습니다.